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在高精度定位设备中,五轴运动平台集成了五个运动自由度的精密定位系统(通常为X/Y/Z三个直线轴+两个旋转轴),可实现复杂空间曲面的运动控制。那么,五轴运动平台的应用优势有哪些?下面就让小编来为大家简单介绍一下:
据悉,该设备的核心优势在于能够满足对工件姿态的灵活调整,在半导体检测、多面激光加工、3C精密装配等对精度要求严苛的领域,五轴平台可一次装夹完成多面加工/检测,避免多次装夹带来的误差。在行业内,雅科贝思均可提供定制化方案,定位精度普遍可达微米甚至纳米级。
雅科贝思五轴运动平台全部轴系均采用自研直驱电机(直线电机/力矩电机/音圈电机),完全取消丝杠、蜗轮蜗杆、减速机等传统传动结构。
此外,针对五轴复杂空间运动做了专项优化:
1、检测级超精密方案:XYZT气浮五轴平台X轴重复定位精度可达43nm、Y轴可达59nm,线性轴重复精度普遍达到±0.3——1μm,旋转轴重复定位精度达1.5——3arcsec,气浮方案甚至可实现±2nm静态抖动,满足先进制程晶圆检测对精度的极端要求;
2、加工级五轴转台方案:搭载高分辨率编码器,定位精度可达6″、重复定位精度3″,搭配自研驱控算法,高速运动中轨迹跟踪误差可控制在<±1μm;
3、支持SGS振镜-平台五轴联动、多轴高速插补,可胜任复杂曲面3D激光加工、多面一次成型检测/加工,消除多次装夹误差。
关于五轴运动平台的应用优势,小编就先为大家介绍到这里。值得一提的是,雅科贝思从核心电机、编码器到控制器全部自研,支持选配皮米级光栅尺、高柔线缆、主动减振器等高端组件,可提供交钥匙定制方案。更多资讯,可以关注雅科贝思官网。
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